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    超高精度CNC视像测量机

    ULTRA QV404PRO
    CNC视像测量机

    • ULTRA QV404 是实现了世界顶级测量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像测量系统。
    • 为了将直线度误差控制至最小,X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。
    • 通过FEM (有限要素法) 解析后的最佳设计实现了本体的高刚性化。
    • 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm的光学式线性编码器。该编码器的线性膨胀系数为零,将温度变化产生的误差控制到最小限度。