• 超高测量精度，在全测量范围(0.05mm-10mm)内直线度达±0.5μm，窄测量 范围内达±(0.3+0.1ΔD)μm。
• 超高重复精度达±0.05μm。
技术参数
测量范围: 0.05 - 10mm
分辨率: 0.00001 - 0.01mm 可选(.000001" - .0005") ( ): 英制／公制型
20ºC 时的直线度*: 宽范围: ±0.5μm
窄范围: ±(0.3+0.1ΔD)μm
重复精度 (±2σ): ±0.04μm
定位误差**: ±0.5μm
测量区域: 2x10mm (ø0.05 - ø0.1mm)
4x10mm (ø0.1 - ø10mm)
激光波长: 650nm, 可见光
扫描速度: 3200 scans/s
激光扫描速度: 113m/s
激光适用标准: IEC, FDA (544-534), JIS (544-533)
* 在测量区域中心
** 在测量区域中由于工件定位的变化造成可能的测量错误
ΔD= 校正规和工件的直径差
用于 LSM-501S 选件
02AGD120: 校正规套装 (ø0.1mm, ø10mm)
02AGD210: 电线导向滑轮
02AGD400: 可调仪器放置台
02AGD440: 中心架*
02AGD450: 可调节V 型块*
02AGD230: 空气罩
957608: 空气罩盖过滤器
02AGC150A: 延长继电器电缆 1m
02AGN780A: 延长信号电缆 5m
02AGN780B: 延长信号电缆 10m
02AGN780C: 延长信号电缆 15m
* 和可调仪器放置台一起使用
尺寸
